1. 共聚焦顯微拉曼光譜系統主要部件：

整套系統需包含激光器，共聚焦顯微鏡，高靈敏度光譜儀，光柵，高端低噪音CCD探測器，分析軟件等。

2. 主要功能：

拉曼光譜測試：可測量共聚焦顯微拉曼光譜；

3 主要指標：

3.1?激光器：?

1）532nm TEM00單模激光器，50mW

2）638nm單模激光器，50mW

3）785nm單模激光器，100mW

4）*三激發波長全自動切換

3.2光譜儀與檢測器系統:

1)?高靈敏度光譜儀焦長：300 毫米；

2)?*光譜儀內采用全反射鏡，光譜范圍可覆蓋200-1100nm；

3)?*可以同時配備600,1200及1800刻線三塊光柵，可實現軟件控制全自動切換，無需手動更換光柵

4)?拉曼光譜范圍：可覆蓋100-5000cm-1；

5)?白光光譜: 在不轉光柵條件下, 可一次型采集530 nm至800 nm全波段范圍譜線，無轉光柵接譜.

6)?光譜分辨率：優于2?cm^-1；

7)?*光譜重復性：優于0. 05?cm^-1；

檢測標準：在日常實驗條件下，使用單晶硅，采用532 nm激發及100x物鏡，重復100次，觀察硅520 cm^-1拉曼峰位置的可重復性

8)?*高靈敏度：能清晰地觀察到硅的四階拉曼峰，其中硅的三階拉曼峰（約1440 cm^-1）信噪比好于20:1，要求無明顯的N₂和O₂拉曼峰，N₂和O₂拉曼峰強不高于4階峰;

檢測標準：使用單晶硅片，激光波長532 nm，激光功率不超過10.0 毫瓦，，積分時間60秒，累積5次，顯微鏡鏡頭為100x

9)?*光譜檢測器：采用高端背照射CCD,?峰值量子效率>=90%, TE制冷至-60度.

3.3?共聚焦性能：

1) *真實針孔共聚焦系統：為了獲得最佳的共聚焦效應，要求系統采用真正的針孔共聚焦，而非狹縫式的贗共聚焦。針孔大小可以自動連續調節10-100um。

2)*橫向（XY方向）光學空間分辨率：使用100倍干物鏡和共聚焦孔不小于50?mm時，拉曼成像橫向光學分辨率：≤ 500 nm @ 532?nm，越高越好。

檢測條件（需配置自動平臺）:?以直徑不超過50nm的一維納米材料為樣品(石墨烯完美邊緣也可以，光柵樣品不可接受), 以50 nm為步長沿垂直納米材料方向做拉曼線掃描, 獲得納米材料拉曼強度的空間分布曲線，其強度變化曲線的半峰寬即為拉曼成像橫向光學分辨率。?

5) *縱向（Z方向）空間分辨率（需配置自動平臺）：使用100倍干物鏡和共聚焦孔不小于50mm時，拉曼成像縱向光學分辨率：≤ 1000 nm@532 nm，越高越好。

檢測條件: 以懸空的少層石墨烯為樣品, 以50 nm為步長沿Z軸方向做拉曼線掃描, 使用100X物鏡，獲得石墨烯G峰拉曼強度的空間分布曲線，其強度變化曲線的半峰寬即為拉曼成像縱向光學分辨率

3.4?顯微光路：

1) 光學顯微鏡采用科勒照明方式

2)?配備明暗場物鏡：10倍物鏡，50倍物鏡（長工作距離），100倍物鏡

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